無塵車間標準 潔凈室（潔凈廠房，凈化車間，潔凈車間）是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。潔凈室*主要作用在于控制產品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。 在JIS標準下.無塵室清潔度.共分為8個等級
一般清潔度是指空氣的潔凈等級.分為等級1.2???8.8階段.在1立方公尺的空氣中.粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為
1,百個以下是100=102是等級2,千個以下時是1000=103等級3.一次類推.
21世界.*尖端產業的發展.加速了產業結構的變革.無塵室設立之必要性也相對地提高.商品日漸的小型化和精密化.塵埃和溫濕
的變化對商品的完成度亦造成極大的危害.導致品質低下.伴隨商品的高品質要求.環境無塵化的需求也日益提高.因此在無塵室中
用防塵材料及商品都顯得格外重要.
所謂的無塵室是一個人造的環境.里面含有的粒子遠低于一般的環境.隨著集成電路的級數的快速成長.也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求.在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命.優于納米技術的興起.造成半導體關鍵尺寸持續縮小.集成電路積集度不斷地增加.塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化.例如當金屬塵粒落到金屬導線時.就可能會使金屬導線形成短路.又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上.可能將其腐蝕.所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素.
無塵車間標準.潔凈室標準
一.無塵車間(Clean Room).亦稱為潔凈室或無塵室.
「無塵車間」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子.有害空氣.細菌等之污染物排除.并將室內之溫度.濕度.潔凈度.室內壓力.氣流速度與氣流分布.噪音振動及照明.靜電控制在某一需求范圍內.而所給予特別設計之房間.亦即是不論外在之空氣條件如何變化.其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度.溫濕度及壓力等性能之特性.
潔凈室*主要之作用在于控制產品所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度.使產品能在一個良好之環境空間中生產.制造.此空間我們稱之為「無塵車間」.
二.無塵車間標準-等級
美國聯邦標準(< USA Federal Standard )209E (1992 年)PC/ft3
潔凈度級別 粒徑 (um)
0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
1 35 7.5 3 1 NA
10 350 75 30 10 NA
100 NA 750 300 100 NA
1000 NA NA NA 1000 7
10000 NA NA NA 10000 70
100000 NA NA NA 100000 700
中國藥品生產無塵車間(區)的空氣潔凈度標準
潔凈度級別 塵埃*允許數 /平方米 微生物允許數
≥0.5um 5um 浮游菌個 /立方米 沉降菌個 /皿.30min
100 3500 0 5 1
10000 350000 2000 100 3
100000 3500000 20000 500 10
300000 10500000 61800 NA 15
無塵車間及潔凈區空氣中懸浮粒子潔凈度等級GB50073-2001
空氣潔凈度等級 (N) 大于或等于表中粒徑的濃度限值 (pc/m3)
0.1靘 0.2靘 0.3靘 0.5靘 1靘 5靘
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1000 237 102 35 8
4 10000 2370 1020 352 83
5 100000 23700 10200 3520 832 29
6 1000000 237000 102000 35200 8320 293
7 352000 83200 2930
8 3520000 832000 29300
9 35200000 8320000 293000
三.無塵車間標準-控管之項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子.
2. 能防止微塵粒子之產生.
3. 溫度和濕度之控制.
4. 壓力之調節.
5. 有害氣體之排除.
6. 結構物與隔間之氣密性.
7. 靜電之防制.
8. 電磁干擾預防.
9. 安全因素之考慮.
10. 節能之考量.
四.無塵車間標準-分類
1.亂流式(Turbulent Flow):
空氣由空調箱經風管與無塵車間內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室.并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風.氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態.此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級.
優點:構造簡單.系統建造成本低.潔凈室之擴充比較容易.在某些特殊用途場所.可并用無塵工作臺.提高無塵車間等級.
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出.易污染制程產品.另外若系統停止運轉再激活.欲達需求之潔凈度.往往須耗時相當長一段時間.
2.層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形.空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內.并由高架地板或兩側隔墻板回風.此型式適用于潔凈室等級需求較高之環境使用.一般其潔凈室等級為Class 1~100.其型式可分為二種:
(1)無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出.由對邊墻壁之回風系統回風.塵埃隨風向排出室外.一般在下流側污染較嚴重.
優點:構造簡單.運轉后短時間內即可變成穩定.
缺點:建造費用比亂流式高.室內空間不易擴充.
(2)無塵車間垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋.空氣由上往下吹.可得較高之潔凈度.在制程中或工作人員所產生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域.
優點:管理容易.運轉開始短時間內即可達穩定狀態.不易為作業狀態或作業人員所影響.
缺點:構造費用較高.彈性運用空間困難.天花板之吊架相當占空間.維修更換過濾器較麻煩 原創作者：青島潤澤電子凈化設備有限公司 |
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