5、洗凈室、品質(zhì)檢查室凈化級別為7 級，采用新風(fēng)機組（MAU）+循環(huán)機組（AHU）+風(fēng)機過濾器單元（FFU)）的空調(diào)方式。采用的氣流形式為部FFU送風(fēng)，房間側(cè)下百葉風(fēng)口回風(fēng)。FFU滿布率為33%，洗凈室、品質(zhì)檢查室對NH4+、SQx濃度有要求，需在循環(huán)機組（AHU）內(nèi)增設(shè)化學(xué)過濾器。5級凈化間的氣流流程為：新回風(fēng)混合-化學(xué)過濾器（NH4+）-化學(xué)過濾器（SQx）-中效過濾器-表冷器-送風(fēng)機-送風(fēng)管-送風(fēng)靜壓箱-風(fēng)機過濾器單元（FFU）-潔凈區(qū)-房間側(cè)下百葉回風(fēng)口-回風(fēng)管-新回風(fēng)混合。新風(fēng)接自其它系統(tǒng)共用的MAU-1、2新風(fēng)組。

 

6、除CP室外的潔凈室所需新風(fēng)采用2臺新風(fēng)機組（MAU-1、2）集中處理，新風(fēng)集中處理后送至各循環(huán)機組（AHU）。其氣流流程為：新風(fēng)入口-粗效過濾器-中效過濾器-預(yù)加熱器-表冷器-加熱器-潔凈蒸汽加濕-送風(fēng)機-送風(fēng)管-各循環(huán)空調(diào)機組（AHU）。

 

7、CP室、ML室、洗凈室用酸量相對較多，CP室、ML室內(nèi)的高效過濾器送風(fēng)口的擴散板需采用不銹鋼板制作，洗凈室內(nèi)的FFU的網(wǎng)板需采用不銹鋼板制作。

 

8、另需注意，品質(zhì)檢查室根據(jù)工藝要求需采用黑色墻板、黑色板，相應(yīng)采用黑色回風(fēng)口，F(xiàn)FU的網(wǎng)板需采用黑色網(wǎng)板。

 

新風(fēng)機組（MAU-1、2）采用變頻風(fēng)機，由總送風(fēng)管上的靜壓傳感器來控制變頻器。在接入每個風(fēng)量及正壓控制循環(huán)機組（AHU）的新風(fēng)管上均設(shè)置電動調(diào)節(jié)閥，由各潔凈室的正壓值來調(diào)節(jié)電動調(diào)節(jié)閥的開度，使?jié)崈羰业恼龎褐挡浑S生產(chǎn)設(shè)備的排風(fēng)量的變化而變化，電動調(diào)節(jié)閥的開度變化引起總送風(fēng)管上的靜壓變化，根據(jù)其設(shè)定值調(diào)節(jié)AHU-1、2的風(fēng)機頻率，以達到控制目的。

 

3.1 凈化車間的溫濕度控制

 

凈化生產(chǎn)車間的濕度是由新風(fēng)機組MAU-1、2來保證，控制新風(fēng)機組送風(fēng)狀態(tài)點，根據(jù)送風(fēng)狀態(tài)設(shè)定值來調(diào)節(jié)干蒸汽加濕器的電動執(zhí)行機構(gòu)和表冷器及加熱器回水管上的電動二通閥的開度。露點溫度DPT由檢查室內(nèi)濕度敏感元件HE連續(xù)整定。

 

凈化生產(chǎn)車間的溫度是由循環(huán)機組AHU來保證的，根據(jù)室內(nèi)溫度來調(diào)節(jié)表冷器回水管上的電動二通閥的開度。

 

3.2 供冷系統(tǒng)控制

 

冷凍水系統(tǒng)方面采用一級泵，用負荷控制的方法來確定冷水機組及相應(yīng)水泵、冷卻塔的開啟臺數(shù)。根據(jù)設(shè)定供、回水壓差來自動控制供、回水主管之間壓差流量旁通閥。